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        熱阻蒸發

        熱阻蒸發

        • 所屬分類:熱阻蒸發
        • 瀏覽次數:
        • 發布日期:2020-08-07 15:39:04
        • 產品概述
        • 性能特點
        • 技術參數

        熱阻蒸發系統

        設備用途: 

        熱阻蒸發系統適用于制備金屬薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。

        設備組成:

        該設備主要由金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成??膳浜鲜痔紫浣M裝。

        技術參數:

        極限真空度≤6.6×10-5Pa;

        抽速:40分鐘可達到6×10-4Pa;

        熱阻蒸發組件:2套;

        有機蒸發束源爐組件:1套;

        樣品尺寸:φ100mm×1片;

        樣品臺溫度:300℃;

        分子泵系統:1套;

        膜厚監測儀(1個探頭):1套;

        冷卻水路系統:1套;

        自動控制系統:1套。

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