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使用磁控濺射鍍膜系統對環境有什么要求嗎?

2020-07-22 09:25:15

由于要在特定條件下,因此磁控濺射鍍膜系統要滿足真空對環境的要求。制定的各種磁控濺射鍍膜系統的行業標準(包括磁控濺射鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空電鍍機對環境的要求,能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。

磁控濺射鍍膜行業發展優勢

磁控濺射鍍膜對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周知,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會更加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能??诰迾I環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態存在于氣體中的物質體系。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準,從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的口巨業部門,也適合于真空對潔凈環境的要求。

磁控濺射鍍膜的正常條件是:

1.環境溫度10一30℃

2.相對濕度不大于7a%a

3.冷卻水進水溫度不高于25℃

4.冷卻水質城市自來水或質量相當的水

5.供電電壓380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342-399V或198-231V,頻率波動范圍49-51Hz

6.設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。

7.設備周圍環境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。

此外,磁控濺射鍍膜所在實驗室或車間應保持清潔衛生。地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵時排出的氣體對實驗室環境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。

磁控濺射


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