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磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
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磁控濺射金屬和合金很容易!

2020-07-22 09:25:15

濺射鍍膜中盡量抑制油蒸汽的污染的必要性應是無可爭議的。為了保證每個濺射室能在獨立的氣氛下工作, 相鄰的濺射室之間應采取氣氛隔離措施。磁控濺射鍍膜儀廠家帶你了解更多!

等離子體濺射的基本過程是負極的靶材在位于其上的輝光等離子體中的載能離子作用下,靶材原子從靶材濺射出來,然后在襯底上凝聚形成薄膜;在此過程中靶材表面同時發射二次電子,這些電子在保持等離子體穩定存在方面具有關鍵作用。

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容。

濺射鍍膜開始呈現的是簡略的直流二極濺射,它的長處是設備簡略,可是直流二極濺射沉 積速率低;為了堅持自我克制放電,不能在低氣壓下進行;不能濺射絕緣資料等缺陷限制了其使用。

磁控濺射是由二極濺射基礎上開展而來,在靶材外表樹立與電場正交磁場,處理了二極濺射 堆積速率低,等離子體離化率低一級問題,成為現在鍍膜工業首要辦法之一。

磁控濺射


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