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      1. 磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
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        濺射鍍膜過程是什么?

        2020-07-21 17:34:29

        鍍膜織物膜基結合力與其表面鈦膜的耐磨性密切相關,鈦膜耐磨性越好,膜基結合就越牢固。磁控濺射鍍膜玻璃即為離線鍍膜玻璃,是在平板玻璃出廠后,再進行鍍膜加工。合格的鍍膜玻璃不僅要滿足光學透射率、反射率、耐磨性能、抗化學腐蝕性能等理化指標,還要保證產品的色調均勻性。

        濺射鍍膜過程主要是將欲沉積成薄膜的材料制成靶材,固定在濺射沉積系統的陰極上,待沉積薄膜的基片放在正對靶面的陽極上。

        濺射系統抽至高真空后充入氬氣等,在陰極和陽極之間加載高壓,陰陽極之間會產生低壓輝光放電。

        近年來磁控濺射技術發展非常迅速,代表性方法有平衡平衡磁控濺射、反應磁控濺射、中頻磁控濺射及高能脈沖磁控濺射等等。

        放電產生的等離子體中,氬氣正離子在電場作用下向陰極移動,與靶材表面碰撞,受碰撞而從靶材表面濺射出的靶材原子稱為濺射原子。

        磁控濺射不僅應用于科研及工業領域,已延伸到許多日常生活用品,主要應用在化學氣相沉積制膜困難的薄膜制備。磁控濺射技術在制備電子封裝及光學薄膜方面已有多年,特別是先進的中頻非平衡磁控濺射技術也已在光學薄膜、透明導電玻璃等方面得到應用。

        離子束濺射系統


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