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磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
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一、A100L/A200L是緊湊型干泵

用于潔凈制程的整體式干泵

具有緊湊結構的潔凈制程整體式干泵是專為滿足半導體生產設施中的靈活彈性集成要求而開發的。為了在方便在機臺內直接安裝和快速抽空的設計要求,用于潔凈制程的該系列緊湊型泵是裝載互鎖、傳輸室以及其他非腐蝕性應用的解決方案。

針對高氣流量應用的全新解決方案

普發真空推向市場的用于高氣流量應用的全新200m3/h級別產品A200L,再次展示出了其在整體式干泵市場中全球領導地位。憑借著100m3/h 級別產品A100L和200m3/h 級別產品A200L,普發真空為一切潔凈制程應用提供完整的產品種類。

優勢

● 高氣流量

● 體積小巧

● 裝配優化

● 購置成本低

應用

● 裝載互鎖和傳輸室

● 半導體生產

● 光伏

引導行業的整體式干泵

自從A100L泵問市以來,它改變了半導體行業生產設施中泵的集成問題。基于干式多級羅茨泵技術,盡管尺寸小,整體式干泵依然提供了高抽速和短抽空時間的特點。如今,整體式潔凈制程的干泵泵是先進的,且A100系列在全世界范圍內很多300mm半導體工廠內進行了安裝。

用于裝載互鎖和傳輸室的整體式干泵

在諸如裝載互鎖和傳輸室等潔凈制程應用中,這些泵排除了泵安裝中的真空管路影響。通過使用整體式干泵,可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。該泵在生產過程中提供可持續的杰出性能且具有高效節能的特點。高可靠性和長期穩定性使該泵脫穎而出。

整體式干泵——不僅僅用于半導體行業

該泵能提供干燥和無塵的潔凈真空,整體式干泵也為太陽能光電設備提供上佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷卻系列的另一優勢。小巧的體積保證了其在大型機臺內集成的便利性。

尺寸圖

干式真空泵

產品名稱:干式真空泵


二、磁懸浮渦輪分子泵

電磁軸承也被稱作“主動式磁懸浮軸承”,其轉子位置會被不間斷的監測和自動調整,并依靠自動平衡補償來實現無磨損、低震動的運行。保證轉子能持續穩定的工作。同時,這樣的軸承設計也實現了零維護和無潤滑油。

5軸磁懸浮渦輪分子泵

技術上的杰作

HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術,轉子 的位置能被實時控制。在工作中,動平衡裝置會進行自動校準,可以極小程度上減輕震動和工藝過程中產生的軸承位移。低能耗和極低的維護成本確保了其極高的性價比。

超強的兼容性

是否覺得不同的界面接口標準讓您頭疼不已?我們的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅動裝置供您選擇,從而滿足各種不同界 面接口的連接需要。

可靠

我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉子 監測系統和實時的轉子位移自動修正功能。通過采用這種高性能的 軸承技術,我們的泵不僅能確保長時間的穩定性和可靠性,同時運 行時也非常安靜。此系列軸承技術的泵在半導體、鍍膜和干蝕刻等 離子體過程行業的高真空工藝中具有標桿地位,此外也廣泛應用于 許多其他工業行業和研發領域。

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產品名稱:半磁浮渦輪分子泵

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